由四探針探頭、直流恒流電源和測(cè)量?jī)x表等組成。用規(guī)定的壓力將探頭上四根探針與被測(cè)樣品表面形成歐姆接觸，在其二根探針上通以電流。
其它以四探針?lè)榛A(chǔ)的六探針、交直流四探針電阻率、薄層電阻測(cè)試儀可參照使用。本標(biāo)準(zhǔn)不包括四探針探頭標(biāo)準(zhǔn)。
四探針測(cè)試儀面板上的文字符號(hào)和標(biāo)志清楚無(wú)誤，符合有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定。位移機(jī)構(gòu)的動(dòng)作應(yīng)平穩(wěn)，操作方便，噪聲小。
除下述術(shù)語(yǔ)外，本標(biāo)準(zhǔn)所采用的電工名詞術(shù)語(yǔ)、四探針探頭名詞術(shù)語(yǔ)分別按GB2900.1《電工名詞術(shù)語(yǔ)、基本名詞術(shù)語(yǔ)》和SJ/T10315《四探針探頭通用技術(shù)條件》的標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定。
GB191 包裝儲(chǔ)運(yùn)圖示標(biāo)志；
使用直線形排列與正方形排列的四探針測(cè)試儀，電阻率的基本計(jì)算公式及公式的使用條件等見(jiàn)附錄A。
修正系數(shù)，當(dāng)探針間距、被測(cè)樣品的幾何形狀與尺寸等滿(mǎn)足不了基本公式所要求的理想條件時(shí)，需要在基本公式中附加一些系數(shù)進(jìn)行修正，這些系數(shù)稱(chēng)為修正系數(shù)。
安全要求：電源輸入端與機(jī)殼間的絕緣電阻應(yīng)大于500MΩ。電源進(jìn)線應(yīng)有保險(xiǎn)器。電源輸入端與機(jī)殼間應(yīng)能承受1500V（有效值）交流電壓歷時(shí)1分鐘，無(wú)擊穿與飛弧現(xiàn)象。
四探針測(cè)試儀的表面平整光滑，無(wú)劃痕、壓傷、變形、銹蝕現(xiàn)象，涂復(fù)層不得脫落。零部件的安裝應(yīng)牢固無(wú)松動(dòng)，有防松動(dòng)措施，開(kāi)關(guān)、旋鈕的調(diào)節(jié)應(yīng)方便，操作應(yīng)靈活。
具有空調(diào)的專(zhuān)用清潔室；室內(nèi)無(wú)強(qiáng)電磁場(chǎng)干擾，無(wú)強(qiáng)光直接照射，沒(méi)有明顯的振動(dòng)和波動(dòng)。電源要求：電壓：（220±10%）V；頻率：（50±1%）Hz；波形：正弦波。
GB6615 硅片電阻率的直排四探針測(cè)試方法；
技術(shù)要求：外觀結(jié)構(gòu)要求，四探針測(cè)試儀的外觀結(jié)構(gòu)應(yīng)符合下列原則，布局合理、美觀大方、結(jié)構(gòu)緊湊、顯示清晰、操作方便、易于維修。
在另外兩探針上測(cè)量其電位差，利用通入的電流和測(cè)量的電位差等數(shù)據(jù)，以及相應(yīng)公式經(jīng)過(guò)運(yùn)算處理得到被測(cè)量的參數(shù)。
薄層電阻 R 材料內(nèi)平行于電流方向的電勢(shì)梯度除以電流密度與材料厚度的乘積，當(dāng)厚度趨近于零時(shí)，其值為薄層電阻。
JJG508 四探針電阻率測(cè)試儀檢定規(guī)程；
各修正系數(shù)的定義、計(jì)算公式、使用條件等見(jiàn)附錄A。直流四探針電阻率測(cè)試儀，用來(lái)測(cè)試材料電阻率、薄層電阻和電阻的探針測(cè)試裝置。
GB11073 硅片徑向電阻率變化的測(cè)試方法；
探頭外觀要求應(yīng)符合SJ/T10315標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定。使用環(huán)境要求，大氣壓：（86~106）kPa；溫度：（23±5）℃；相對(duì)濕度：不大于65%；
SJ1889 電子測(cè)量?jī)x器可靠性試驗(yàn)方案；
本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了直流四探針電阻率測(cè)試儀（以下簡(jiǎn)稱(chēng)四探針測(cè)試儀）的主要技術(shù)性能、測(cè)試方法、檢測(cè)規(guī)則、包裝、運(yùn)輸、貯存要求等。

SJ/T10315 四探針探頭通用技術(shù)條件；
形式上為薄層電阻率除以材料厚度，單位為歐姆/方塊（Ω/□）。使用直線形排列和正方形排列的四探針測(cè)試儀，薄層電阻R的基本計(jì)算公式及公式的使用條件等見(jiàn)附錄A。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于電子和冶金等行業(yè)生產(chǎn)與科研中測(cè)量半導(dǎo)體、金屬薄層等的電阻率、薄層電阻和電阻的直流四探針測(cè)試儀。
SJT 10314-1992 直流四探針電阻率測(cè)試儀通用技術(shù)條件
電阻率  材料內(nèi)平行于電流方向的電勢(shì)梯度與電流密度之比，又稱(chēng)體電阻率，單位為歐姆·厘米（Ω·cm）。
GB2900.1 電工名詞術(shù)語(yǔ)，基本名詞術(shù)語(yǔ)；