1、集中電路法：

集中電路法是一種在低頻段將有耗材料填充電容，利用電容各參數(shù)以及測量得到的導納推出介電常數(shù)的一種方法。為了測量導納，通常用并聯(lián)諧振回路測出Q值(品質因數(shù))和頻率，進而推出介電常數(shù)。由于其高頻率會受到小電感的限制，這種方法的高頻率一般是100 MHz。小電感一般為10 nHz左右。

2、傳輸線法：

傳輸線法是網絡法的一種，是將介質置入測試系統(tǒng)適當位置作為單端口或雙端口網絡。雙端口情況下，通過測量網絡的s參數(shù)來得到微波的電磁參數(shù)。同時測量傳輸系數(shù)或者反射系數(shù)的相位和幅度，改變樣品長度或者測量頻率，測出這時的幅度響應，聯(lián)立方程組就能夠求出相對介電常數(shù)。

3、諧振法：

諧振法是將樣品作為諧振結構的一部分來測量介電常數(shù)的方法，分為微擾法、全部填充諧振器空間的方法以及部分填充諧振器空間的方法。

4、自由空間法：

自由空間法其實也可算是傳輸線法。它的原理可參考線路傳輸法，通過測得傳輸和反射系數(shù)，改變樣品數(shù)據和頻率來得到介電常數(shù)的數(shù)值。