Quality is life, service is the tenet
介電常數(shù)測(cè)量技術(shù)在民用,工業(yè)以及軍事等各個(gè)領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。本文主要對(duì)介電常數(shù)測(cè)量的常用方法進(jìn)行了綜合論述。首先對(duì)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行了對(duì)比總結(jié);然后分別論述了幾種常用測(cè)量方法的基本原理、適用范圍、優(yōu)缺點(diǎn)及發(fā)展近況;后對(duì)幾種測(cè)量方法進(jìn)行了對(duì)比總結(jié),得出結(jié)論。介電常數(shù)是物體的重要物理性質(zhì),對(duì)介電常數(shù)的研究有重要的理論和應(yīng)用意義。電氣工程中的電介質(zhì)問題、電磁兼容問題、生物醫(yī)學(xué)、微波、電子技術(shù)食品加工和地質(zhì)勘探中,無一不利用到物質(zhì)的電磁特性,對(duì)介電常數(shù)的測(cè)量提出了要求。目前對(duì)介電常數(shù)測(cè)量方法的應(yīng)用可以說是遍及民用、工業(yè)、國(guó)防的各個(gè)領(lǐng)域在食品加工行業(yè)當(dāng)中,儲(chǔ)藏、加工、滅菌、分級(jí)及質(zhì)檢等方面都廣泛采用了介電常數(shù)的測(cè)量技術(shù)。例如,通過測(cè)量介電常數(shù)的大小,新鮮果蔬品質(zhì)、含水率、發(fā)酵和干燥過程中的一些指標(biāo)都得到間接體現(xiàn),此外,根據(jù)食品的介電常數(shù)、含水率確定殺菌時(shí)間和功率密度等工藝參數(shù)也是重要的應(yīng)用之一[1]。在路基壓實(shí)質(zhì)量檢測(cè)和評(píng)價(jià)中,如果利用常規(guī)的方法,盡管測(cè)量結(jié)果比較準(zhǔn)確,但工作量大、周期長(zhǎng)、速度慢且對(duì)路面造成破壞。由于土體的含水量、溫度及密度都會(huì)對(duì)其介電特性產(chǎn)生不同程度的影響,因此可以采用雷達(dá)對(duì)整個(gè)區(qū)域進(jìn)行測(cè)試以反算出介電常數(shù)的數(shù)值,通過分析介電性得到路基的密度及壓實(shí)度等參數(shù),達(dá)到快速測(cè)量路基的密度及壓實(shí)度的目的[2]。此外,復(fù)介電常數(shù)測(cè)量技術(shù)還在水土污染的監(jiān)測(cè)中得到了應(yīng)用[3]。并且還可通過對(duì)巖石介電常數(shù)的測(cè)量對(duì)地震進(jìn)行預(yù)報(bào)[4]。上面說的是介電常數(shù)測(cè)量在民用方面的部分應(yīng)用,其在工業(yè)上也有重要的應(yīng)用。典型的例子有低介電常數(shù)材料在超大規(guī)模集成電路工藝中的應(yīng)用以及高介電常數(shù)材料在半導(dǎo)體儲(chǔ)存器件中的應(yīng)用。在集成電路工藝中,隨著晶體管密度的不斷增加和線寬的不斷減小,互聯(lián)中電容和電阻的寄生效應(yīng)不斷增大,傳統(tǒng)的絕緣材料二氧化硅被低介電常數(shù)材料所代替是必然的。目前Applied Materials 的BlackDiamond 作為低介電常數(shù)材料,已經(jīng)應(yīng)用于集成電路的商業(yè)化生產(chǎn)[5]。在半導(dǎo)體儲(chǔ)存器件中,利用高介電常數(shù)材料能夠解決半導(dǎo)體器件尺寸縮小而導(dǎo)致的柵氧層厚度極限的問題,同時(shí)具備特殊的物理特性,可以實(shí)現(xiàn)具有特殊性能的新器件[6]。在軍事方面,介電常數(shù)測(cè)量技術(shù)也廣泛應(yīng)用于雷達(dá)和各種特殊材料的制造與檢測(cè)當(dāng)中。對(duì)介電常數(shù)測(cè)量技術(shù)的應(yīng)用可以說是不勝枚舉。介電常數(shù)的測(cè)量技術(shù)已經(jīng)廣泛應(yīng)用于民用、工業(yè)和國(guó)防各個(gè)領(lǐng)域,并且有發(fā)展的空間和必要性。我們對(duì)測(cè)量介電常數(shù)的方法進(jìn)行總結(jié),能更清晰的認(rèn)識(shí)測(cè)量方法的現(xiàn)狀,為某些應(yīng)用提供一種可能適合的方法,是有一定理論和工程應(yīng)用意義的。
工作特性
1.Q值測(cè)量
a.Q值測(cè)量范圍:2~1023;
b.Q值量程分檔:30、100、300、1000、自動(dòng)換檔或手動(dòng)換檔;
c.標(biāo)稱誤差
頻率范圍 25kHz~10MHz 固有誤差≤5%±滿度值的2% 工作誤差≤7%±滿度值的2%
頻率范圍 10MHz~60MHz 固有誤差 ≤6%±滿度值的2% 工作誤差≤8%±滿度值的2%
電感測(cè)量范圍 14.5nH~8.14H
直接測(cè)量范圍 1-460P 主電容調(diào)節(jié)范圍 40~500pF 準(zhǔn)確度 150pF以下±1.5pF;150pF以上±1%
注:大于直接測(cè)量范圍的電容測(cè)量見使用方法。
信號(hào)源頻率覆蓋范圍
頻率范圍 10kHz~70MHz
CH1 10~99.9999kHz CH2 100~999.999kHz CH3 1~9.99999MHz CH4 10~70MHz ?頻率指示誤差3×10-5±1個(gè)字
5.Q合格指示預(yù)置功能:預(yù)置范圍:5~1000
6.Q表正常工作條件
a. 環(huán)境溫度:0℃~+40℃;
b.相對(duì)濕度:<80%;
c.電源:220V±22V,50Hz±2.5Hz。
7.其他
a.消耗功率:約25W;
b.凈重:約7kg;
c.外型尺寸:(寬×高×深)mm:380×132×280。